塵埃粒子最高允許數(shù)(每立方米):大或等于0.5微米的粒子數(shù)不能超出3500000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不能超出20000個(gè);
微生物最高允許數(shù)(每立方米):浮游菌數(shù)不能超出500個(gè);菌數(shù)不能超出10個(gè)每培養(yǎng)皿。
壓差:相同潔凈度等級(jí)的潔凈車(chē)間壓差保持一致,對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈車(chē)間之間壓差要≥5Pa,潔凈車(chē)間與非潔凈車(chē)間之間要≥10Pa。
10萬(wàn)級(jí)凈化車(chē)間工作環(huán)境規(guī)定:
10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí),以穿著潔凈服不產(chǎn)生舒適感為宜,溫度一般控制在秋冬季20~22℃;春夏季24~26℃;波動(dòng)±2℃。秋冬季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在30-50%,春夏季潔凈車(chē)間空氣濕度控制在50-70%。
配電:潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用地一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過(guò)道等的照度值宜為200~300Lx。
噪聲控制:
動(dòng)態(tài)檢測(cè)時(shí),萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室內(nèi)的噪音級(jí)不得超出70分貝A。
靜態(tài)檢測(cè)時(shí),萬(wàn)級(jí)亂流無(wú)塵室的噪音級(jí)不能超出60分貝A。
氣流組織
10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的送風(fēng)方式:
1.局部孔板頂棚送風(fēng);
2.帶擴(kuò)散板高效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng);
3.上側(cè)墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。
10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的回風(fēng)方式:
1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口;
2.當(dāng)采用過(guò)道回風(fēng)時(shí),在過(guò)道內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在過(guò)道端部集中設(shè)置回風(fēng)口。
送風(fēng)口風(fēng)速米/秒:
1.孔板孔口3~5;
2.側(cè)送風(fēng)口:
(1)貼附射流2~5;
(2)非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5~2.5,對(duì)側(cè)墻下部回風(fēng)1.0~1.5。
回風(fēng)口風(fēng)速(米/秒):
1.無(wú)塵室回風(fēng)口不超2;
2.過(guò)道內(nèi)回風(fēng)口不超4。
10萬(wàn)級(jí)室內(nèi)空氣參數(shù)需求:
1.新風(fēng)量大。由于這類(lèi)車(chē)間內(nèi),人員比較多,能夠依據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和堅(jiān)持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;確保室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3 /h。
2.溫濕度需求:溫度通常為24+2 度 ,相對(duì)濕度為55+5%
3.送風(fēng)量大。為了滿(mǎn)意無(wú)塵車(chē)間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需求較大的送風(fēng)量,就300平方米的車(chē)間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬(wàn)級(jí),送風(fēng)量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。