無塵車間內(nèi)給水排水管道的敷設(shè)方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度,因此在“規(guī)范”中首先要求管道盡量在潔凈室外敷設(shè),以特別多限度的減少凈化工程無塵車間裝修的管道。
目前,亞太凈化工程無塵車間裝修的管道布置形式有:各種干管布置在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道、技術(shù)豎井內(nèi)。對具有上下夾層的凈化車間,給水排水干管大都設(shè)在下夾層內(nèi);暗裝立管可布置在墻板、異型磚、管槽或技術(shù)夾道內(nèi);支管由干管或立管引入潔凈室,最好從上、下夾層引入20~30 cm后再與設(shè)備二次配管相連;安裝在技術(shù)夾道內(nèi)的管道及閥件,可明裝也可暗裝。
無塵車間均為恒溫恒濕房間,而生產(chǎn)工藝需要的各類管道又有不同的水溫要求,管內(nèi)外的溫差可能使管外壁結(jié)露,影響室內(nèi)溫濕度。因此,對于有可能結(jié)露的管道應(yīng)采取防結(jié)露措施。防結(jié)露層外表面可以采用鍍鋅鐵皮或鋁皮作外殼,便于清洗并不產(chǎn)生灰塵。
當(dāng)無塵車間裝修設(shè)置自動噴水滅火系統(tǒng)時(shí),宜采用預(yù)作用式自動噴水滅火系統(tǒng)。當(dāng)設(shè)置氣體滅火系統(tǒng)時(shí),不應(yīng)采用鹵代烷1211以及能導(dǎo)致人員窒息和對保護(hù)對象產(chǎn)生二次損害的滅火劑。
無塵車間的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無菌無塵,對給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格,如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的注射用水等。而且有的水系統(tǒng)的造價(jià)高、管理要求嚴(yán)格,因此無塵車間裝修應(yīng)該根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等)。